【大公報訊】記者向芸成都報道：9日，由成都高新區企業成都太科光電牽頭，協同國內多家大學、研究所和企業實施的國家重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目「超光滑表面無損檢測儀」正式啟動。據悉，這是2016年國家「十三五」重點研發計劃首批開發項目之一，也是四川省首個及唯一一個國家重點研發計劃「重大科學儀器設備開發」專項項目。
據了解，該儀器主要用於高精度非接觸測量，可廣泛應用於高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體製造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片的關鍵參數快速檢測，還可應用於大型現代光學工程系統，如大型高功率固體激光系統、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面型、材料特性等參數測量。
