圖：華邦化學生產的「氣體純化器」產氣純度達到9N級，成功打破了國外長期壟斷，為多項集成電路國家重點項目提供了實際配套支持。圖為華邦化學研發人員在分析試驗參數。 受訪者供圖

　　近年來，中國大力推進新型工業化，加快製造業轉型升級，湧現出超過14萬家專精特新中小企業，其中，專精特新「小巨人」企業達到14600多家，他們靠獨門絕活打破外國技術壟斷，往往把單一品類的「小市場」做成了享譽全球的「大生意」，進軍全球大市場。大連華邦化學就是其中之一。他們的科研團隊自2013年起深耕氣體純化器設備研究，成功打破了國外長期壟斷，研製出產氣純度可達9N級的國產氣體純化器，不僅為多項集成電路國家重點項目提供了實際配套支持，還為中芯國際、京東方、英特爾、SK海力士等國內外行業巨頭供應設備與服務。\大公報記者 宋偉

　　高純度氣體純化設備，對於超大規模集成電路、平面顯示器和半導體器件等生產而言，是不可或缺的關鍵配套裝備。其生產的氣體純度高低直接關係到光電子、微電子元器件的質量與集成度。簡體來說，半導體製程中需用到特殊氣體（如氮氣、氬氣或氫氣）進行蝕刻、沉積等步驟，必須達到極高純度（例如99.9999%、6N級以上），否則微量雜質可能導致晶片缺陷。

　　美歐壟斷，窒礙進步。長期以來，氣體純化器設備的生產技術被美國、日本、韓國等國家所壟斷，雖然國產氣體純化器4N-5N級與歐美發達國家6N級以上存在顯著代差，但超越突破的動能一直在積累。

　　實現進口替代 助力祖國攻芯

　　大連華邦化學的出現打破了這一局面。「我們生產的氣體純化器產氣純度高達99.9999999%（9N級），技術水平達到國際一流。」研發總監錢吉博士表示。從事相關研究逾20年，錢吉帶領的科研團隊自2013年起便開始了創業之旅。如今，國產9N級高純度氣體純化設備不僅替代進口同類產品，成功打破了國外長期壟斷，更為多項集成電路國家重點項目提供了實際配套支持。

　　企業負責人劉皖南表示，華邦化學當前在國內外全產業鏈市場覆蓋率超過85%、佔有率突破55%，實際產線運行設備數量超2000台／套。「去年，華邦化學年產值達5.1億元，今年前兩個月各項經濟指標同比增長35%，發展勢頭十分強勁。憑藉卓越性能與可靠性，企業已為中芯國際、京東方、英特爾、SK海力士等國內外行業巨頭供應設備與服務。」

　　大國重器穿上「智能防護衣」

　　專利封鎖，倒逼創新。從渤海之濱一路向南，相距3000公里的南海海域，總高338.5米的亞洲第一深水導管架「海基二號」，正穩穩矗立在324米深的海床之上。鮮為人知的是，為這台海上大國重器穿上「智能防護衣」的也是一家專注海洋科技領域的「小巨人」。

　　歐美長期以來壟斷高端塗層材料和防腐配套體系，採用標準壁壘、材料禁運、專利封鎖等手段，企圖制約中國海洋工程防腐抗蝕技術發展。

　　重重挑戰下，科邁爾科研團隊持續自主創新，研發出「海基二號」的ICCP和HMS兩大系統。大連科邁爾研發負責人朱東旭介紹說，「『海基二號』導管架平台有超過75%的部分在海面以下，要經受風浪及內波流等惡劣海況的衝擊。科邁爾自主研發的張緊式外加電流陰極保護及監測系統（ICCP）和基於數字孿生的結構健康管理系統（HMS）兩大核心產品在「海基二號」上發揮作用，通過外加電流腐蝕防護、實時監測、評估預警等數智化手段，輔助制定科學運維方案保障深水海洋平台安全運行，就像為導管架平台穿上了『智能防護衣』。」